測量范圍
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露點-80~+20℃(支持ppmv等)
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露點精度
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±0.5℃(當露點溫度低于0℃,傳感器輸出為霜點)
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重 復 性
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±0.5℃
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氣體流量
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SF6調節在0.5~0.9L/min
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SF6純度
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測量范圍
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0~100% SF6
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精度和重復性
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±0.5%,與流量無關
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SF6分解產物
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H2S
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1~200ppm
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SO2
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1~100ppm
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HF
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0~10ppm
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精度
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±1ppm
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